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出厂检验的项目包括：外观、材料、结构、柜体防泄漏、高效过滤器完整性、噪声、照度、下降气流流速、流入气流流速、气流模式、集液槽泄漏、稳定性、温升、电机与风机、电气安全（耐电压、绝缘电阻）。

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形貌观察、电子衍射；高分辨电子显微像、衍射衬度成像；X射线能谱分析等。

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质量范围3~260amu，分辨率0.1~3.0amu（在峰高10%处）连续可调，检出限（3σ）为1~10ppt，动态范围8个数量级，质量稳定性0.05amu/天，灵敏度Co、In脉冲计数3×107cps/ppm。

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安装检验的检验项目包括：外观、高效过滤器完整性、下降气流流速、流入气流流速、气流模式。

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